三轴加速度传感器 mems陀螺仪工作原理？

mems陀螺仪工作原理？

使用相互正交振动和旋转产生的交变科里奥利力。

MEMS陀螺仪（micro-electro-mechanical systems）是集机械元件、微传感器、微执行器、信号处理与控制电路、接口电路、通信与电源于一体的完整的微机电系统。

什么是MEMS传感器？

什么是MEMS传感器？

MEMS是一种微电子机械系统。MEMS传感器是利用微加工技术制造的一种新型传感器，属于MEMS器件的一个重要分支。

这取决于MEMS技术传感器的技术特性

1。小型化，其芯片尺寸基本上是纳米级和微米级。

2. 多元化，主要体现在工艺、应用领域和材料上。

3. 集成，将多个不同功能和敏感方向的传感器集成在一起，形成一个阵列和系统。

4. 批量生产，适合批量生产，成本低。

一些典型的MEMS传感器

1。MEMS压力传感器。它发展迅速，应用广泛。MEMS压力传感器根据其工作机理的不同可分为三种形式：压阻式压力传感器、电容式压力传感器和谐振式压力传感器。

2. MEMS加速度传感器。按其原理可分为压阻式、压电式、电容式、热电偶式、光波导式等MEMS加速度传感器，其中应用最广泛的是电容式加速度传感器。

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