automic原理 离心机原理 原子层沉积(ATLD)是一种将材料以单原子薄膜的形式逐层沉积在衬底表面的方法。原子层沉积类似于化学沉积。但在原子层沉积过程中,新一层原子膜的化学反应与前一层原子膜直接相... 2021-03-13 1540次浏览