蚀刻液泄漏处理方法 hf3是什么物质？

hf3是什么物质？没有HF3这种东西，应该是NF3，它是三氟化氮的化学式，是一种无机化合物，常温常压下为无色气体，不溶于水，是一种强氧化剂，微电子工业中优良的等离子体刻...