uwb定位技术原理 什么是MEMS传感器？
什么是MEMS传感器？什么是MEMS传感器？MEMS是一种微电子机械系统。MEMS传感器是利用微加工技术制造的一种新型传感器，属于MEMS器件的一个重要分支。这取决于MEMS技术传感器的技术特性1。小
什么是MEMS传感器？
什么是MEMS传感器？
MEMS是一种微电子机械系统。MEMS传感器是利用微加工技术制造的一种新型传感器，属于MEMS器件的一个重要分支。
这取决于MEMS技术传感器的技术特性
1。小型化，其芯片尺寸基本上是纳米级和微米级。
2. 多元化，主要体现在工艺、应用领域和材料上。
3. 集成，将多个不同功能和敏感方向的传感器集成在一起，形成一个阵列和系统。
4. 批量生产，适合批量生产，成本低。
一些典型的MEMS传感器
1。MEMS压力传感器。它发展迅速，应用广泛。MEMS压力传感器根据其工作机理的不同可分为三种形式：压阻式压力传感器、电容式压力传感器和谐振式压力传感器。
2. MEMS加速度传感器。按其原理可分为压阻式、压电式、电容式、热电偶式、光波导式等MEMS加速度传感器，其中应用最广泛的是电容式加速度传感器。